Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
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2018-01-22 [ ]

Neue Halbleiter - Bearbeitungstechnik am ISAS entwickelt

Am ISAS (Institut für Sensor - und Aktuatorsysteme) kann man nun poröse Strukturen aus Siliziumcarbid herstellen. Das bringt neue Möglichkeiten für mikro- und nanotechnisch hergestellte Sensoren und Elektronikkomponenten, aber auch für integrierte Spiegelelemente, die bestimmte Farben filtern.

Das Team: Markus Leitgeb, Ulrich Schmid, Christopher Zellner und Michael Schneider (v.l.n.r).